Pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N-HT, vitesse de pompage de 45 à 70 CFM (1300 - 2000 l/m), avec silencieux chauffé, processus propres à moyens, refroidie par eau, triphasée, 200-220 V, 60 Hz.
Numéro de pièce Ebara : 203537. La série ESR (Energy Saving Roots) d'Ebara est composée de pompes à vide sèches multicellulaires conçues pour des applications allant des procédés propres aux procédés de moyenne intensité. La série ESR couvre une large plage de débits de 35 à 1 625 pi³/min, avec une pression limite de seulement 1 mTorr. Cette offre concerne la pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N-HT, 120 pi³/min, 2 000 l/min, avec silencieux chauffé, pour procédés propres à moyens, refroidissement par eau, 200-220 V / triphasé, réf. : 203537.
Applications
- pulvérisation cathodique
- PVD
- Verrouillage de chargement et transfert
- Cendres
- Implanteur d'ions
- Graver
- Gaz et procédés propres
Avantages et caractéristiques des pompes à lobes rotatifs sèches de la série Ebara ESR.
- Sans huile
- Faible coût de possession [puissance, N2, eau, empreinte, volume, poids]
- Aucune purge d'azote requise pour l'ESR20N dans les applications propres
- Vitesse de pompage variable pour répondre aux exigences de l'application
- Moteurs à courant continu sans balais hautes performances
- Dispositifs de contrôle et de surveillance de pointe
- Le mode veille peut être utilisé pour augmenter les économies d'énergie
- Évalué SEMI S2, répertorié NRTL, marqué CE
